Aplicación de bolas de molienda de Zirconia en los objetivos de pulveride aleación de molibdenniobio

(1) polvo de molibdeny polvo de niobio (ambos con una pureza de 99.95% y tamaños de partícula de 20 ≥ m y 35μm, respectivamente) se cargaron en un molino de bolas en una relación de peso de 6:1. Se añadiácido palmico y bolas de molienda de zirconia (2mm de diámetro), y la molienda se llevó a cabo bajo protección de argón. El tiempo de fresado fue de 80 minutos, y la velocidad de fresfue de 1000r/min. Después del tami, se obtuvo un polvo compuesto con un tamaño de partícula de 9μm de aleación de molibdenniobio. El peso de las bolas de molienda de ácido palmico y zirconia fue de 0,02 veces el peso total de polvo de molibdeny polvo de niobio, y 8 veces, respectivamente.

(2) el polvo compuesto de aleación de molibdenniodel paso (1) fue presionisostáticamente en frío a una presión de 200MPa durante 5 minutos para obtener un blanco prensado.

(3) el blanco prensado se sinterien un horno de sinterial vacío a una temperatura de 1800°C durante 10 horas para obtener un blanco blanco.

(4) el blanco blanco se sometió a un proceso mecánico para producir blancos de pulverización de aleación de molibdenniobio. Los objetivos de sputtering tenían una microestructura monofásica, uniforme sin poros, un tamaño de grano promedio de 50μm, y una densidad de 9,85g /cm ².

[0023] ejemplo 2

Un proceso para la preparación de blancos de pulverización de aleación de molibdeno-nio, que comprende los siguientes pasos:

(1) polvo de molibdeny polvo de niobio (ambos con una pureza de 99.95% y tamaños de partículas de 15 ≥ m y 30μm, respectivamente) se cargaron en un molino de bolas en una relación de peso de 7:1. Se añadibolas de molidor de estato de Zinc y zirconia (de 3mm de diámetro), y la molienda se llevó a cabo bajo protección de argón. El tiempo de fresado fue de 60 minutos, y la velocidad de fresfue de 1200r/min. Después del tami, se obtuvo un polvo compuesto con un tamaño de partícula de 10μm de aleación de molibdenniobio. El peso de las bolas de molienda de estearato de zinc y zirconia fue 0,01 veces el peso total de polvo de molibdeny polvo de niobio, y 5 veces, respectivamente.

(2) el polvo compuesto de aleación de molibdenniodel paso (1) fue sometido a tratamiento de vacío y luego isostáticamente en frío presiona una presión de 150MPa durante 10 minutos para obtener un blanco prensado.

(3) el blanco prensado se sinterien un horno de sinterial vacío a una temperatura de 2000°C durante 5 horas para obtener un blanco blanco.

(4) el blanco blanco se sometió a un proceso mecánico para producir blancos de pulverización de aleación de molibdenniobio. Los objetivos de sputtering tenían una microestructura monofásica, uniforme sin poros (ver figura 1), un tamaño de grano promedio de 55μm, y una densidad de 9,86g /cm ².

[0024] ejemplo 3

(1) polvo de molibdeny polvo de niobio (ambos con una pureza de 99.95% y tamaños de partículas de 25 ≥ m y 40μm, respectivamente) se cargaron en un molino de bolas en una relación de peso de 8:1. Se añadibolas de molidor de estestato de Zinc y zirconia (1mm de diámetro), y la Molise se llevó a cabo bajo protección de argón. El tiempo de fresado era de 100 minutos, y la velocidad de fresera era de 1000r/min. Después del tami, se obtuvo un polvo compuesto con un tamaño de partícula de 6μm de aleación de molibdenniobio. El peso de las bolas de molienda de estearato de zinc y zirconia fue de 0,03 veces el peso total de polvo de molibdeny polvo de niobio, y 10 veces, respectivamente.

(2) el polvo compuesto de aleación de molibdenniodel paso (1) fue sometido a tratamiento de vacío, seguido de prenisostático en frío a una presión de 180MPa durante 7 minutos para obtener un blanco prensado.

(3) el blanco prensado se sinterien un horno de sinterial vacío a una temperatura de 2000°C durante 8 horas para obtener un blanco blanco.

(4) el blanco blanco se sometió a un proceso mecánico para producir blancos de pulverización de aleación de molibdenniobio. Los objetivos de sputtering tenían una microestructura monofásica, uniforme sin poros (ver figura 2), un tamaño de grano promedio de 45μm, y una densidad de 9,87g /cm ².